제품 명칭

 핀보드

(Pinboard) 

 ICP

(In-Chamber Probe)

 에이징 파레트

(Aging Pallet)

 성능 및 특징

 ■  OLED Mobile Panel 검사용

 ■  3종 프로브 블록 적용 가능

- Blade : Rigid Panel용

- Film : Flexible Panel용

- MEMS : Flexible/Rigid Panel겸용

 ■  Repair 대응 가능

 ■  OLED증착설비내에서 원장 Glass Panel을 동시에 20 cell 이상 검사

 ■  2종 프로브 블록 적용 가능

- Blade type : Rigid Panel 용

- MEMS type : Flexible Panel용

 ■  OLED 중소형 Panel 휘도 안정화를 위한

Aging용 Unit

 ■  Line, Dot, 이물, Uniformity, 휘도 및 

색좌표 이상 검사

 ■  FLAT / VIA / HYBRID Type의 3종류 Probe

 제품 형상

 제품 명칭

어레이 유닛

(Array Unit)

 APU

(Auto Probe Unit)

 성능 및 특징

  ■  BP 공정 중의 하나인 TFT증착 후, 전류 검사를 통해 회로상 Open/Short 및 Leakage Current 검사를 수행하는 프로브유닛

 ■  최소 30um 피치 대응 가능한 프로브블록 장착

 ■  제품 사이즈 마다 별도의 설비가 필요하였던  기존의 설비와 달리 하나의 설비로 다양한 사이즈의  제품을 검사할 수 있는 획기적인 설비

 ■  중형 (~27인치)에서 초대형(~100인치이상)까지 모든 크기 패널 대응 가능

 제품 형상